“啊切——”
远在港岛的一片地下建筑中，陈意打了个喷嚏，揉了揉鼻子之后嘀咕了一句：“哪个扑街老在骂我？”
吐槽了一句之后便继续投入到他的工作里了。
此时的他正在处于一座无尘工厂之中，外面套了一件白色的隔离服，身前的工作台上方像是个展览台似的四周都被透明玻璃给罩着，工作台内部一定要保证真空。
无尘工作间的环境管控也异常的苛刻，不止是这个房间，连带着这一块区域所有房间加起来共一万平米处于无尘地带。
空气污染源的控制精度至少要达到外界的1000倍，温度与湿度也要保持恒定，光这个车间的环境控制系统研发就花了陈意差不多一亿刀。
不计算研发成本，整个无尘工作区域造价为每平方米五千刀，嗯，比他前世一线房价倒是便宜多了，这一点倒是让他很欣慰。
而且这是处于地下，施工难度大，还是人工建设的所以才那么贵，现在有了军团和轩辕狗蛋，成本起码压缩了五倍。
此时陈意正在工作台前的屏幕上操作着，玻璃罩内部是一个奇怪又简洁的聚光源系统，不像那些蜿蜒曲奇的管道与很多镜片所组成用来折射、反射、聚光的光源系统，对，这就是用于光刻机的光源系统。
不过陈意眼前的这个光源系统与蓝星主流的光源系统完全不同，整个系统只有激光发射器、激光靶材喷射管以及扁平的梯形晶体三个重要部分组成。
这个系统的关键就在于这个梯形晶体了，陈意新设计的光源系统将多块透镜与棱镜所组成的结构都集成在了这块中位线五十厘米、高十厘米的等腰梯形晶体之中，这是一个可以说是非常非常非常精密的系统了，重要的“非常”要说三遍。
光刻机的原理很简单，其实跟单反差不多，可以说是一个放大版的单反，将光罩上设计好的集成电路图形通过镜头模组控制光线曝光，印到光感材料上形成图形，但是精度嘛，却是以纳米为单位的，难度大家也知道了。
特别是极紫外光刻机的工作精度，按照陈意前世一种很接地气的比喻就是：两架超音速飞机在天空中以同一速度高速飞行并，且靠的非常近，此时需要站在中一架飞机的机翼上，用刀片在另一架飞机机翼上的一粒米表面雕刻出一副漂亮的风景画。
当然陈意还没有那么牛逼，现在就能把极紫外光刻机给整出来。
前世蓝星芯片行业的巨头们发现193nm的深紫外光的制程将要达到极
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